HH ǵasyrdyń ekinshi jartysynan bastap mikroólshemder ǵylymi-tehnikalyq progresti qamtamasyz etýde basymdyqqa ie boldy. Qazirgi ýaqytta osy saladaǵy tehnologiianyń damýy sýbmikrondyq ólshemge jetip, nano deńgeiine ótti. Al osy «nanotehnika» terminin 1974 jyly japon ǵalymy N.Tanigýchi usynǵan bolatyn.
Bir kezderi japon ǵalymy engizgen termin qazirgi tańda ǵylymnyń eń ózekti baǵytyna ainalyp úlgerdi. Onyń nátijesin ómirimizdiń barlyq salalarynan kórip júrmiz. Máselen, QazUÝ ǵalymdary nanotehnologiianyń kómegimen taýardyń túpnusqa ekenin dáleldeitin gologramma daiyndaýmen ainalysady. Ýniversitetimizdegi Ashyq túrdegi ulttyq nanotehnologiialyq zerthana mamandary atalmysh joba barysynda elektrondyq-iondyq litografiia sekildi qazirgi zamanǵy tehnologiialardy paidalanyp otyr. Osy arqyly elimizde ártúrli betterde keskinder men bederler qalyptastyrý qoljetimdi bola tústi. TMD elderinde mundai tehnologiia kóp kezdespeidi, iaǵni áli jolǵa qoiylmaǵan desek, artyq aitpaǵan bolamyz.
– Búginde taýardyń nemese ónimniń qoldan jasalǵan, iaǵni fabrikat túrlerin jasaý jii kezdesedi. Sondyqtan osyndai tehnologiialardyń kómegimen taýardyń túpnusqa ekenin dáleldeitin belgiler salýǵa bolady. Biz elektrondyq-iondyq litografiiany túrli tústi mikro jáne nanobetterde ózimizge qajetti jazýlar nemese keskinderdi elektrondy shoq arqyly, skanerleýshi elektrondy mikroskop jáne atomdyq-kúshtik mikroskop arqyly jumys barysynda qajetti úlgilerdi alýǵa bolady. Mysaly, polimerlerde ózimizge qajetti belgilerdi oiyp ala alamyz. Plazmalyq óńdeý jáne tozańdatý sekildi ádister arqyly túrli tústi qubylmaly glogrammalardy alý múmkindigi týady, – deidi Ashyq túrdegi ulttyq nanotehnologiialyq zerthana direktory Muhit Muratov.
Bul jobanyń básekege qabiletti bolýyna birden-bir sebepker bolyp otyrǵan – gologrammadaǵy keskinniń qanyqtyǵy. Ári jylý áserin qoldanbaý jáne jumys barysynda 1-150 mkKl/sm2 deńgeiinde tómen dozada áser etý relefti nemese basqa da keskindi salýǵa ketetin ýaqytty qysqartady.

– Ólshemderi týraly az-kem aita keter bolsam, eń kemi 10 nanometrden bastap, 500 nanometrge deiingi ólshemdegi kózge kórinbeitin belgilerdi buiymdardyń betine túsire alamyz. Keiin ol belgilerdi syrttan sáýlelendirý nemese qyzdyrý arqyly kórýge bolady. Árine, oǵan arnaýly aspaptar, qondyrǵylar qajet. Bul tehnologiialar zattyń qaýipsizdigin qamtamasyz etip qana qoimai, ony qoldan jasaý múmkindigin shekteidi, – deidi Muhit Muhametnuruly.
Tiyn shyǵaratyn nemese zergerlikpen ainalysatyn mekemelerde osy sekildi jasyryn belgilerdi paidalanady. Joba avtorlarynyń aitýynsha, bul ónertabys nanolitografiia salasyna tikelei qatysty. Sol sebepti moneta sarailarynda golografiialyq qorǵanysh keskin retinde nemese fotolitografiiada maska túrinde, odan bólek, qubylmaly gologramma golografiialyq torkózder men integraldy shema jasaýda qoldanýǵa bolady.
– Polimetil-metakrilat rezisti, iaǵni polimer betine elektrondyq sáýlemen keskin jasaimyz. Muny aliýminii sekildi basqa da metaldardyń betine oiyp isteýge de bolady. Elektrondyq litografiianyń túpki qurylymyna keler bolsaq, betindegi fony men jazýdyń aiyrmashylyǵy – onyń qarańǵy nemese aqshyl tústi bolýynda. Ony elektrondyq shoqtyń dozasyn basqarý arqyly retteimiz. Mysaly, 1 sharshy santimetrge 150 mikrokýlon arqyly energiia kózi jumsalady. Kremnii betine aliýminiimen jazýǵa nemese kerisinshe, aliýminii betinde kremniimen jazýǵa bolady. Tájiribe barysynda biz tústiń qanyqtylyǵyn baqylaýda ustap otyramyz. Onyń barlyǵy sáýlelendirýdiń dozasy men ýaqyttyń uzaqtyǵyna bailanysty, – deidi Muhit myrza.
Bul ádistiń dástúrli litografiiadan aiyrmashylyǵy – zatpen túiistirmei-aq bederler jasaýǵa bolady. Máselen, baspa ádisi arqyly zattyń betine iz qaldyryp jasalady. Biraq, mamannyń aitýynsha, mundai ádiste qoldanylatyn qatty mórtańba 10 ret qoldanǵan soń, ári qarai paidalanýǵa jaramsyz bolyp qalady. Bizdiń tehnologiianyń ónimdiligi joǵary ári belgi salynatyn betpen túiispeitindikten, qoldaný merzimi de uzaq.
Oqý ornyndaǵy nanotehnologiialyq zerthana direktorynyń aitýynsha, nanoálemdi kóre alatyn qondyrǵylar paida bolǵaly osy salaǵa degen qyzyǵýshylyq ta arta túsken. Biraq bizdiń elde bul sala endi ǵana damyp keledi. Al shet memleketterde kóptegen salalarda osy ádis arqyly óndiris salasyndaǵy alaiaqtyqtyń aldyn alyp otyr. Ásirese altyn buiymdar men quima daiarlaityn firmalarda óz ónimderine osy ádis arqyly qubylmaly gologrammadan belgiler jasaidy.
Árine, kez kelgen jańa dúniemen tanysa otyryp eriksiz «Qazaqstanda mundai tehnologiia qanshalyqty qoljetimdi?» degen saýal týyndaidy. Muhit Muhametnuruly bul suraqqa: «Nano ólshemdegi litografiiamen ainalysatyn kompaniialar joqtyń qasy. Biz osy baǵytta jumys isteimiz. Biraq úlken kólemde osyndai belgiler jasaýmen ainalysatyn kompaniialar bolýy kerek», – dep jaýap berdi.
Joba memleket tarapynan granttyq qarjylandyrýǵa qol jetkizgen eken. Jobanyń ǵylymi esebi túgel ári sátti aiaqtalǵan. Bólingen qarajat ta tolyq igerilgen.
– Biraq qarjylai múmkindik bolsa, osy jobany ári qarai damytyp, jumysty avtomattandyrýǵa bolady, – deidi zerthana basshysy. – Ekinshiden, kez kelgen betke salynatyn bederdi kodtaityn qurylǵyǵa qol jetkizsek deimiz. Bul ónimniń nusqaýlyǵynda jasyryn bederdiń qai jerde ornalasqanyn shifrlar arqyly kórsetýge múmkindik beredi. Óitkeni nanomasshtabtaǵy belgini qaraý óte uzaq protsess. Eger ónimniń sipattamasynda shifry bolsa, sol arqyly arnaýly mamandar taýardyń qupiia belgisin taýyp, onyń túpnusqa ekenine kóz jetkize alady. Qoldaný salasy aýqymdy, qarapaiym telefonnan bastap, qundy qaǵazdarǵa deiin gologramma túrinde belgiler qoiýǵa bolady. Bolashaqta japsyrma túrinde shyǵarýdy oilastyryp otyrmyz. Biraq ázirge biz jumys isteitin úlgilerdiń ólshemine shekteý bar.
Joba barysynda QazUÝ ǵalymdary Resei ǵylym akademiiasyna qarasty Mikroelektronika jáne arnaiy materialdar tehnologiiasynyń problemalary institýtynyń ǵalymdarymen birigip jumys istegen. Birikken zertteý jumystaryn júrgizý maqsatynda ýniversitetimizdegi doktorantýra stýdentteri osy institýtta ǵylymi taǵylymdamadan ótti. Odan bólek, sol institýttyń professorlary bizge kelip dárister júrgizdi. Ashyq túrdegi ulttyq nanotehnologiialyq zerthana mamandary osy saladaǵy reseilik tájiribeli mamandarmen keńesip, tájiribe almasyp otyrady.
Bul jobaǵa jas ǵalymdardyń da qyzyǵýshylyǵy joq emes. Eki doktorant, úsh magistrant stýdent osy jobada jumys isteidi.
– Bastapqy kezeńde óz erkimizben osy baǵyttaǵy zertteý jumystaryn bastadyq. Keiinnen 2018 jyly granttyq qarjylandyrýǵa baiqaý jariialanǵan kezde baq synap kórýge sheshim qabyldadyq. Joba qarjylandyrýǵa qol jetkizgende zertteý jumystaryn birshama deńgeige kóterip, jaqsy nátijelerge qol jetkizdik. Jobany granttyq qarjylandyrýdyń óz talaptary bolady. Mysaly, baiqaýǵa qatyspas buryn, birneshe zertteý júrgizilgen bolýy qajet. Asyl metaldar men qundy qaǵazdarǵa arnalǵan gologramma jasaý jobasynyń kelesi deńgeii – kommertsiialandyrý. Ary qarai osy baǵyttaǵy konkýrstarǵa qatyssaq degen josparymyz bar. Odan keiingi kezeń – ónimdi naryqqa shyǵarý, – deidi Muhit Muratov.
Onyń aitýynsha, ónertabysqa «Nanobederlerdi tasymaldaý tehnologiiasy» degen ataýmen memlekettik patent alynǵan. Ony qarastyrýdyń ózine 1,5 jylǵa jýyq ýaqyt qajet bolypty. Qazirgi tańda jobaǵa otandyq investorlar da qyzyǵýshylyq tanytyp otyr. Olardyń negizgi talaby – ónimniń óndiristik jelisi 100 paiyz daiyn bolýy qajet. Sondyqtan ázirge qolda bar tehnologiianyń kómegimen zertteýler júrgizilýde.
Biraq kommertsiialandyrýdyń da ártúrli joldaryn qarastyrǵan abzal. Mysaly, osy baǵytta qyzmet kórsetý arqyly nemese osy tehnologiianyń qyr-syryn ózgelerge úiretý arqyly naryqqa shyǵarýǵa bolady. Birinshisi – servistik, ekinshisi – intellektýaldyq ónim retinde óz tutynýshysyn tabady degen senim bar. Osy baǵytta qyzyǵýshylyq tanytqan oqý oryndary bolsa ózara yntymaqtastyq arqyly QazUÝ mamandary tájiribe almasýǵa ázir.
Ál-Farabi atyndaǵy QazUÝ-dyń Baspasóz qyzmeti