حح عاسىردىڭ ەكىنشى جارتىسىنان باستاپ ميكروولشەمدەر عىلىمي-تەحنيكالىق پروگرەستى قامتاماسىز ەتۋدە باسىمدىققا يە بولدى. قازىرگى ۋاقىتتا وسى سالاداعى تەحنولوگيانىڭ دامۋى سۋبميكروندىق ولشەمگە جەتىپ، نانو دەڭگەيىنە ءوتتى. ال وسى «نانوتەحنيكا» تەرمينىن 1974 جىلى جاپون عالىمى ن.تانيگۋچي ۇسىنعان بولاتىن.
ءبىر كەزدەرى جاپون عالىمى ەنگىزگەن تەرمين قازىرگى تاڭدا عىلىمنىڭ ەڭ وزەكتى باعىتىنا اينالىپ ۇلگەردى. ونىڭ ناتيجەسىن ءومىرىمىزدىڭ بارلىق سالالارىنان كورىپ ءجۇرمىز. ماسەلەن، قازۇۋ عالىمدارى نانوتەحنولوگيانىڭ كومەگىمەن تاۋاردىڭ ءتۇپنۇسقا ەكەنىن دالەلدەيتىن گولوگرامما دايىنداۋمەن اينالىسادى. ۋنيۆەرسيتەتىمىزدەگى اشىق تۇردەگى ۇلتتىق نانوتەحنولوگيالىق زەرتحانا ماماندارى اتالمىش جوبا بارىسىندا ەلەكتروندىق-يوندىق ليتوگرافيا سەكىلدى قازىرگى زامانعى تەحنولوگيالاردى پايدالانىپ وتىر. وسى ارقىلى ەلىمىزدە ءارتۇرلى بەتتەردە كەسكىندەر مەن بەدەرلەر قالىپتاستىرۋ قولجەتىمدى بولا ءتۇستى. تمد ەلدەرىندە مۇنداي تەحنولوگيا كوپ كەزدەسپەيدى، ياعني ءالى جولعا قويىلماعان دەسەك، ارتىق ايتپاعان بولامىز.
– بۇگىندە تاۋاردىڭ نەمەسە ءونىمنىڭ قولدان جاسالعان، ياعني فابريكات تۇرلەرىن جاساۋ ءجيى كەزدەسەدى. سوندىقتان وسىنداي تەحنولوگيالاردىڭ كومەگىمەن تاۋاردىڭ ءتۇپنۇسقا ەكەنىن دالەلدەيتىن بەلگىلەر سالۋعا بولادى. ءبىز ەلەكتروندىق-يوندىق ليتوگرافيانى ءتۇرلى ءتۇستى ميكرو جانە نانوبەتتەردە وزىمىزگە قاجەتتى جازۋلار نەمەسە كەسكىندەردى ەلەكتروندى شوق ارقىلى، سكانەرلەۋشى ەلەكتروندى ميكروسكوپ جانە اتومدىق-كۇشتىك ميكروسكوپ ارقىلى جۇمىس بارىسىندا قاجەتتى ۇلگىلەردى الۋعا بولادى. مىسالى، پوليمەرلەردە وزىمىزگە قاجەتتى بەلگىلەردى ويىپ الا الامىز. پلازمالىق وڭدەۋ جانە توزاڭداتۋ سەكىلدى ادىستەر ارقىلى ءتۇرلى ءتۇستى قۇبىلمالى گلوگراممالاردى الۋ مۇمكىندىگى تۋادى، – دەيدى اشىق تۇردەگى ۇلتتىق نانوتەحنولوگيالىق زەرتحانا ديرەكتورى مۇحيت مۇراتوۆ.
بۇل جوبانىڭ باسەكەگە قابىلەتتى بولۋىنا بىردەن-بىر سەبەپكەر بولىپ وتىرعان – گولوگرامماداعى كەسكىننىڭ قانىقتىعى. ءارى جىلۋ اسەرىن قولدانباۋ جانە جۇمىس بارىسىندا 1-150 مككل/سم2 دەڭگەيىندە تومەن دوزادا اسەر ەتۋ رەلەفتى نەمەسە باسقا دا كەسكىندى سالۋعا كەتەتىن ۋاقىتتى قىسقارتادى.
– ولشەمدەرى تۋرالى از-كەم ايتا كەتەر بولسام، ەڭ كەمى 10 نانومەتردەن باستاپ، 500 نانومەترگە دەيىنگى ولشەمدەگى كوزگە كورىنبەيتىن بەلگىلەردى بۇيىمداردىڭ بەتىنە تۇسىرە الامىز. كەيىن ول بەلگىلەردى سىرتتان ساۋلەلەندىرۋ نەمەسە قىزدىرۋ ارقىلى كورۋگە بولادى. ارينە، وعان ارناۋلى اسپاپتار، قوندىرعىلار قاجەت. بۇل تەحنولوگيالار زاتتىڭ قاۋىپسىزدىگىن قامتاماسىز ەتىپ قانا قويماي، ونى قولدان جاساۋ مۇمكىندىگىن شەكتەيدى، – دەيدى مۇحيت مۇحامەتنۇر ۇلى.
تيىن شىعاراتىن نەمەسە زەرگەرلىكپەن اينالىساتىن مەكەمەلەردە وسى سەكىلدى جاسىرىن بەلگىلەردى پايدالانادى. جوبا اۆتورلارىنىڭ ايتۋىنشا، بۇل ونەرتابىس نانوليتوگرافيا سالاسىنا تىكەلەي قاتىستى. سول سەبەپتى مونەتا سارايلارىندا گولوگرافيالىق قورعانىش كەسكىن رەتىندە نەمەسە فوتوليتوگرافيادا ماسكا تۇرىندە، ودان بولەك، قۇبىلمالى گولوگرامما گولوگرافيالىق توركوزدەر مەن ينتەگرالدى سحەما جاساۋدا قولدانۋعا بولادى.
– پوليمەتيل-مەتاكريلات رەزيستى، ياعني پوليمەر بەتىنە ەلەكتروندىق ساۋلەمەن كەسكىن جاسايمىز. مۇنى اليۋمينيي سەكىلدى باسقا دا مەتالداردىڭ بەتىنە ويىپ ىستەۋگە دە بولادى. ەلەكتروندىق ليتوگرافيانىڭ تۇپكى قۇرىلىمىنا كەلەر بولساق، بەتىندەگى فونى مەن جازۋدىڭ ايىرماشىلىعى – ونىڭ قاراڭعى نەمەسە اقشىل ءتۇستى بولۋىندا. ونى ەلەكتروندىق شوقتىڭ دوزاسىن باسقارۋ ارقىلى رەتتەيمىز. مىسالى، 1 شارشى سانتيمەترگە 150 ميكروكۋلون ارقىلى ەنەرگيا كوزى جۇمسالادى. كرەمنيي بەتىنە اليۋمينييمەن جازۋعا نەمەسە كەرىسىنشە، اليۋمينيي بەتىندە كرەمنييمەن جازۋعا بولادى. تاجىريبە بارىسىندا ءبىز ءتۇستىڭ قانىقتىلىعىن باقىلاۋدا ۇستاپ وتىرامىز. ونىڭ بارلىعى ساۋلەلەندىرۋدىڭ دوزاسى مەن ۋاقىتتىڭ ۇزاقتىعىنا بايلانىستى، – دەيدى مۇحيت مىرزا.
بۇل ءادىستىڭ ءداستۇرلى ليتوگرافيادان ايىرماشىلىعى – زاتپەن تۇيىستىرمەي-اق بەدەرلەر جاساۋعا بولادى. ماسەلەن، باسپا ءادىسى ارقىلى زاتتىڭ بەتىنە ءىز قالدىرىپ جاسالادى. ءبىراق، ماماننىڭ ايتۋىنشا، مۇنداي ادىستە قولدانىلاتىن قاتتى ءمورتاڭبا 10 رەت قولدانعان سوڭ، ءارى قاراي پايدالانۋعا جارامسىز بولىپ قالادى. ءبىزدىڭ تەحنولوگيانىڭ ونىمدىلىگى جوعارى ءارى بەلگى سالىناتىن بەتپەن تۇيىسپەيتىندىكتەن، قولدانۋ مەرزىمى دە ۇزاق.
وقۋ ورنىنداعى نانوتەحنولوگيالىق زەرتحانا ديرەكتورىنىڭ ايتۋىنشا، نانوالەمدى كورە الاتىن قوندىرعىلار پايدا بولعالى وسى سالاعا دەگەن قىزىعۋشىلىق تا ارتا تۇسكەن. ءبىراق ءبىزدىڭ ەلدە بۇل سالا ەندى عانا دامىپ كەلەدى. ال شەت مەملەكەتتەردە كوپتەگەن سالالاردا وسى ءادىس ارقىلى ءوندىرىس سالاسىنداعى الاياقتىقتىڭ الدىن الىپ وتىر. اسىرەسە التىن بۇيىمدار مەن قۇيما دايارلايتىن فيرمالاردا ءوز ونىمدەرىنە وسى ءادىس ارقىلى قۇبىلمالى گولوگراممادان بەلگىلەر جاسايدى.
ارينە، كەز كەلگەن جاڭا دۇنيەمەن تانىسا وتىرىپ ەرىكسىز «قازاقستاندا مۇنداي تەحنولوگيا قانشالىقتى قولجەتىمدى؟» دەگەن ساۋال تۋىندايدى. مۇحيت مۇحامەتنۇر ۇلى بۇل سۇراققا: «نانو ولشەمدەگى ليتوگرافيامەن اينالىساتىن كومپانيالار جوقتىڭ قاسى. ءبىز وسى باعىتتا جۇمىس ىستەيمىز. ءبىراق ۇلكەن كولەمدە وسىنداي بەلگىلەر جاساۋمەن اينالىساتىن كومپانيالار بولۋى كەرەك»، – دەپ جاۋاپ بەردى.
جوبا مەملەكەت تاراپىنان گرانتتىق قارجىلاندىرۋعا قول جەتكىزگەن ەكەن. جوبانىڭ عىلىمي ەسەبى تۇگەل ءارى ءساتتى اياقتالعان. بولىنگەن قاراجات تا تولىق يگەرىلگەن.
– ءبىراق قارجىلاي مۇمكىندىك بولسا، وسى جوبانى ءارى قاراي دامىتىپ، جۇمىستى اۆتوماتتاندىرۋعا بولادى، – دەيدى زەرتحانا باسشىسى. – ەكىنشىدەن، كەز كەلگەن بەتكە سالىناتىن بەدەردى كودتايتىن قۇرىلعىعا قول جەتكىزسەك دەيمىز. بۇل ءونىمنىڭ نۇسقاۋلىعىندا جاسىرىن بەدەردىڭ قاي جەردە ورنالاسقانىن شيفرلار ارقىلى كورسەتۋگە مۇمكىندىك بەرەدى. ويتكەنى نانوماسشتابتاعى بەلگىنى قاراۋ وتە ۇزاق پروسەسس. ەگەر ءونىمنىڭ سيپاتتاماسىندا شيفرى بولسا، سول ارقىلى ارناۋلى ماماندار تاۋاردىڭ قۇپيا بەلگىسىن تاۋىپ، ونىڭ ءتۇپنۇسقا ەكەنىنە كوز جەتكىزە الادى. قولدانۋ سالاسى اۋقىمدى، قاراپايىم تەلەفوننان باستاپ، قۇندى قاعازدارعا دەيىن گولوگرامما تۇرىندە بەلگىلەر قويۋعا بولادى. بولاشاقتا جاپسىرما تۇرىندە شىعارۋدى ويلاستىرىپ وتىرمىز. ءبىراق ازىرگە ءبىز جۇمىس ىستەيتىن ۇلگىلەردىڭ ولشەمىنە شەكتەۋ بار.
جوبا بارىسىندا قازۇۋ عالىمدارى رەسەي عىلىم اكادەمياسىنا قاراستى ميكروەلەكترونيكا جانە ارنايى ماتەريالدار تەحنولوگياسىنىڭ پروبلەمالارى ينستيتۋتىنىڭ عالىمدارىمەن بىرىگىپ جۇمىس ىستەگەن. بىرىككەن زەرتتەۋ جۇمىستارىن جۇرگىزۋ ماقساتىندا ۋنيۆەرسيتەتىمىزدەگى دوكتورانتۋرا ستۋدەنتتەرى وسى ينستيتۋتتا عىلىمي تاعىلىمدامادان ءوتتى. ودان بولەك، سول ينستيتۋتتىڭ پروفەسسورلارى بىزگە كەلىپ دارىستەر جۇرگىزدى. اشىق تۇردەگى ۇلتتىق نانوتەحنولوگيالىق زەرتحانا ماماندارى وسى سالاداعى رەسەيلىك تاجىريبەلى ماماندارمەن كەڭەسىپ، تاجىريبە الماسىپ وتىرادى.
بۇل جوباعا جاس عالىمداردىڭ دا قىزىعۋشىلىعى جوق ەمەس. ەكى دوكتورانت، ءۇش ماگيسترانت ستۋدەنت وسى جوبادا جۇمىس ىستەيدى.
– باستاپقى كەزەڭدە ءوز ەركىمىزبەن وسى باعىتتاعى زەرتتەۋ جۇمىستارىن باستادىق. كەيىننەن 2018 جىلى گرانتتىق قارجىلاندىرۋعا بايقاۋ جاريالانعان كەزدە ب ا ق سىناپ كورۋگە شەشىم قابىلدادىق. جوبا قارجىلاندىرۋعا قول جەتكىزگەندە زەرتتەۋ جۇمىستارىن ءبىرشاما دەڭگەيگە كوتەرىپ، جاقسى ناتيجەلەرگە قول جەتكىزدىك. جوبانى گرانتتىق قارجىلاندىرۋدىڭ ءوز تالاپتارى بولادى. مىسالى، بايقاۋعا قاتىسپاس بۇرىن، بىرنەشە زەرتتەۋ جۇرگىزىلگەن بولۋى قاجەت. اسىل مەتالدار مەن قۇندى قاعازدارعا ارنالعان گولوگرامما جاساۋ جوباسىنىڭ كەلەسى دەڭگەيى – كوممەرسيالاندىرۋ. ارى قاراي وسى باعىتتاعى كونكۋرستارعا قاتىسساق دەگەن جوسپارىمىز بار. ودان كەيىنگى كەزەڭ – ءونىمدى نارىققا شىعارۋ، – دەيدى مۇحيت مۇراتوۆ.
ونىڭ ايتۋىنشا، ونەرتابىسقا «نانوبەدەرلەردى تاسىمالداۋ تەحنولوگياسى» دەگەن اتاۋمەن مەملەكەتتىك پاتەنت الىنعان. ونى قاراستىرۋدىڭ وزىنە 1،5 جىلعا جۋىق ۋاقىت قاجەت بولىپتى. قازىرگى تاڭدا جوباعا وتاندىق ينۆەستورلار دا قىزىعۋشىلىق تانىتىپ وتىر. ولاردىڭ نەگىزگى تالابى – ءونىمنىڭ وندىرىستىك جەلىسى 100 پايىز دايىن بولۋى قاجەت. سوندىقتان ازىرگە قولدا بار تەحنولوگيانىڭ كومەگىمەن زەرتتەۋلەر جۇرگىزىلۋدە.
ءبىراق كوممەرسيالاندىرۋدىڭ دا ءارتۇرلى جولدارىن قاراستىرعان ابزال. مىسالى، وسى باعىتتا قىزمەت كورسەتۋ ارقىلى نەمەسە وسى تەحنولوگيانىڭ قىر-سىرىن وزگەلەرگە ۇيرەتۋ ارقىلى نارىققا شىعارۋعا بولادى. ءبىرىنشىسى – سەرۆيستىك، ەكىنشىسى – ينتەللەكتۋالدىق ءونىم رەتىندە ءوز تۇتىنۋشىسىن تابادى دەگەن سەنىم بار. وسى باعىتتا قىزىعۋشىلىق تانىتقان وقۋ ورىندارى بولسا ءوزارا ىنتىماقتاستىق ارقىلى قازۇۋ ماماندارى تاجىريبە الماسۋعا ءازىر.
ءال-فارابي اتىنداعى قازۇۋ-دىڭ باسپا ءسوز قىزمەتى
