حح عاسىردىڭ ەكٸنشٸ جارتىسىنان باستاپ ميكروٶلشەمدەر عىلىمي-تەحنيكالىق پروگرەستٸ قامتاماسىز ەتۋدە باسىمدىققا يە بولدى. قازٸرگٸ ۋاقىتتا وسى سالاداعى تەحنولوگييانىڭ دامۋى سۋبميكروندىق ٶلشەمگە جەتٸپ, نانو دەڭگەيٸنە ٶتتٸ. ال وسى «نانوتەحنيكا» تەرمينٸن 1974 جىلى جاپون عالىمى ن.تانيگۋچي ۇسىنعان بولاتىن.
بٸر كەزدەرٸ جاپون عالىمى ەنگٸزگەن تەرمين قازٸرگٸ تاڭدا عىلىمنىڭ ەڭ ٶزەكتٸ باعىتىنا اينالىپ ٷلگەردٸ. ونىڭ نەتيجەسٸن ٶمٸرٸمٸزدٸڭ بارلىق سالالارىنان كٶرٸپ جٷرمٸز. مەسەلەن, قازۇۋ عالىمدارى نانوتەحنولوگييانىڭ كٶمەگٸمەن تاۋاردىڭ تٷپنۇسقا ەكەنٸن دەلەلدەيتٸن گولوگرامما دايىنداۋمەن اينالىسادى. ۋنيۆەرسيتەتٸمٸزدەگٸ اشىق تٷردەگٸ ۇلتتىق نانوتەحنولوگييالىق زەرتحانا ماماندارى اتالمىش جوبا بارىسىندا ەلەكتروندىق-يوندىق ليتوگرافييا سەكٸلدٸ قازٸرگٸ زامانعى تەحنولوگييالاردى پايدالانىپ وتىر. وسى ارقىلى ەلٸمٸزدە ەرتٷرلٸ بەتتەردە كەسكٸندەر مەن بەدەرلەر قالىپتاستىرۋ قولجەتٸمدٸ بولا تٷستٸ. تمد ەلدەرٸندە مۇنداي تەحنولوگييا كٶپ كەزدەسپەيدٸ, ياعني ەلٸ جولعا قويىلماعان دەسەك, ارتىق ايتپاعان بولامىز.
– بٷگٸندە تاۋاردىڭ نەمەسە ٶنٸمنٸڭ قولدان جاسالعان, ياعني فابريكات تٷرلەرٸن جاساۋ جيٸ كەزدەسەدٸ. سوندىقتان وسىنداي تەحنولوگييالاردىڭ كٶمەگٸمەن تاۋاردىڭ تٷپنۇسقا ەكەنٸن دەلەلدەيتٸن بەلگٸلەر سالۋعا بولادى. بٸز ەلەكتروندىق-يوندىق ليتوگرافييانى تٷرلٸ تٷستٸ ميكرو جەنە نانوبەتتەردە ٶزٸمٸزگە قاجەتتٸ جازۋلار نەمەسە كەسكٸندەردٸ ەلەكتروندى شوق ارقىلى, سكانەرلەۋشٸ ەلەكتروندى ميكروسكوپ جەنە اتومدىق-كٷشتٸك ميكروسكوپ ارقىلى جۇمىس بارىسىندا قاجەتتٸ ٷلگٸلەردٸ الۋعا بولادى. مىسالى, پوليمەرلەردە ٶزٸمٸزگە قاجەتتٸ بەلگٸلەردٸ ويىپ الا الامىز. پلازمالىق ٶڭدەۋ جەنە توزاڭداتۋ سەكٸلدٸ ەدٸستەر ارقىلى تٷرلٸ تٷستٸ قۇبىلمالى گلوگراممالاردى الۋ مٷمكٸندٸگٸ تۋادى, – دەيدٸ اشىق تٷردەگٸ ۇلتتىق نانوتەحنولوگييالىق زەرتحانا ديرەكتورى مۇحيت مۇراتوۆ.
بۇل جوبانىڭ بەسەكەگە قابٸلەتتٸ بولۋىنا بٸردەن-بٸر سەبەپكەر بولىپ وتىرعان – گولوگرامماداعى كەسكٸننٸڭ قانىقتىعى. ەرٸ جىلۋ ەسەرٸن قولدانباۋ جەنە جۇمىس بارىسىندا 1-150 مككل/سم2 دەڭگەيٸندە تٶمەن دوزادا ەسەر ەتۋ رەلەفتٸ نەمەسە باسقا دا كەسكٸندٸ سالۋعا كەتەتٸن ۋاقىتتى قىسقارتادى.
– ٶلشەمدەرٸ تۋرالى از-كەم ايتا كەتەر بولسام, ەڭ كەمٸ 10 نانومەتردەن باستاپ, 500 نانومەترگە دەيٸنگٸ ٶلشەمدەگٸ كٶزگە كٶرٸنبەيتٸن بەلگٸلەردٸ بۇيىمداردىڭ بەتٸنە تٷسٸرە الامىز. كەيٸن ول بەلگٸلەردٸ سىرتتان سەۋلەلەندٸرۋ نەمەسە قىزدىرۋ ارقىلى كٶرۋگە بولادى. ەرينە, وعان ارناۋلى اسپاپتار, قوندىرعىلار قاجەت. بۇل تەحنولوگييالار زاتتىڭ قاۋٸپسٸزدٸگٸن قامتاماسىز ەتٸپ قانا قويماي, ونى قولدان جاساۋ مٷمكٸندٸگٸن شەكتەيدٸ, – دەيدٸ مۇحيت مۇحامەتنۇرۇلى.
تيىن شىعاراتىن نەمەسە زەرگەرلٸكپەن اينالىساتىن مەكەمەلەردە وسى سەكٸلدٸ جاسىرىن بەلگٸلەردٸ پايدالانادى. جوبا اۆتورلارىنىڭ ايتۋىنشا, بۇل ٶنەرتابىس نانوليتوگرافييا سالاسىنا تٸكەلەي قاتىستى. سول سەبەپتٸ مونەتا سارايلارىندا گولوگرافييالىق قورعانىش كەسكٸن رەتٸندە نەمەسە فوتوليتوگرافييادا ماسكا تٷرٸندە, ودان بٶلەك, قۇبىلمالى گولوگرامما گولوگرافييالىق توركٶزدەر مەن ينتەگرالدى سحەما جاساۋدا قولدانۋعا بولادى.
– پوليمەتيل-مەتاكريلات رەزيستٸ, ياعني پوليمەر بەتٸنە ەلەكتروندىق سەۋلەمەن كەسكٸن جاسايمىز. مۇنى اليۋمينيي سەكٸلدٸ باسقا دا مەتالداردىڭ بەتٸنە ويىپ ٸستەۋگە دە بولادى. ەلەكتروندىق ليتوگرافييانىڭ تٷپكٸ قۇرىلىمىنا كەلەر بولساق, بەتٸندەگٸ فونى مەن جازۋدىڭ ايىرماشىلىعى – ونىڭ قاراڭعى نەمەسە اقشىل تٷستٸ بولۋىندا. ونى ەلەكتروندىق شوقتىڭ دوزاسىن باسقارۋ ارقىلى رەتتەيمٸز. مىسالى, 1 شارشى سانتيمەترگە 150 ميكروكۋلون ارقىلى ەنەرگييا كٶزٸ جۇمسالادى. كرەمنيي بەتٸنە اليۋمينييمەن جازۋعا نەمەسە كەرٸسٸنشە, اليۋمينيي بەتٸندە كرەمنييمەن جازۋعا بولادى. تەجٸريبە بارىسىندا بٸز تٷستٸڭ قانىقتىلىعىن باقىلاۋدا ۇستاپ وتىرامىز. ونىڭ بارلىعى سەۋلەلەندٸرۋدٸڭ دوزاسى مەن ۋاقىتتىڭ ۇزاقتىعىنا بايلانىستى, – دەيدٸ مۇحيت مىرزا.
بۇل ەدٸستٸڭ دەستٷرلٸ ليتوگرافييادان ايىرماشىلىعى – زاتپەن تٷيٸستٸرمەي-اق بەدەرلەر جاساۋعا بولادى. مەسەلەن, باسپا ەدٸسٸ ارقىلى زاتتىڭ بەتٸنە ٸز قالدىرىپ جاسالادى. بٸراق, ماماننىڭ ايتۋىنشا, مۇنداي ەدٸستە قولدانىلاتىن قاتتى مٶرتاڭبا 10 رەت قولدانعان سوڭ, ەرٸ قاراي پايدالانۋعا جارامسىز بولىپ قالادى. بٸزدٸڭ تەحنولوگييانىڭ ٶنٸمدٸلٸگٸ جوعارى ەرٸ بەلگٸ سالىناتىن بەتپەن تٷيٸسپەيتٸندٸكتەن, قولدانۋ مەرزٸمٸ دە ۇزاق.
وقۋ ورنىنداعى نانوتەحنولوگييالىق زەرتحانا ديرەكتورىنىڭ ايتۋىنشا, نانوەلەمدٸ كٶرە الاتىن قوندىرعىلار پايدا بولعالى وسى سالاعا دەگەن قىزىعۋشىلىق تا ارتا تٷسكەن. بٸراق بٸزدٸڭ ەلدە بۇل سالا ەندٸ عانا دامىپ كەلەدٸ. ال شەت مەملەكەتتەردە كٶپتەگەن سالالاردا وسى ەدٸس ارقىلى ٶندٸرٸس سالاسىنداعى الاياقتىقتىڭ الدىن الىپ وتىر. ەسٸرەسە التىن بۇيىمدار مەن قۇيما دايارلايتىن فيرمالاردا ٶز ٶنٸمدەرٸنە وسى ەدٸس ارقىلى قۇبىلمالى گولوگراممادان بەلگٸلەر جاسايدى.
ەرينە, كەز كەلگەن جاڭا دٷنيەمەن تانىسا وتىرىپ ەرٸكسٸز «قازاقستاندا مۇنداي تەحنولوگييا قانشالىقتى قولجەتٸمدٸ?» دەگەن ساۋال تۋىندايدى. مۇحيت مۇحامەتنۇرۇلى بۇل سۇراققا: «نانو ٶلشەمدەگٸ ليتوگرافييامەن اينالىساتىن كومپانييالار جوقتىڭ قاسى. بٸز وسى باعىتتا جۇمىس ٸستەيمٸز. بٸراق ٷلكەن كٶلەمدە وسىنداي بەلگٸلەر جاساۋمەن اينالىساتىن كومپانييالار بولۋى كەرەك», – دەپ جاۋاپ بەردٸ.
جوبا مەملەكەت تاراپىنان گرانتتىق قارجىلاندىرۋعا قول جەتكٸزگەن ەكەن. جوبانىڭ عىلىمي ەسەبٸ تٷگەل ەرٸ سەتتٸ اياقتالعان. بٶلٸنگەن قاراجات تا تولىق يگەرٸلگەن.
– بٸراق قارجىلاي مٷمكٸندٸك بولسا, وسى جوبانى ەرٸ قاراي دامىتىپ, جۇمىستى اۆتوماتتاندىرۋعا بولادى, – دەيدٸ زەرتحانا باسشىسى. – ەكٸنشٸدەن, كەز كەلگەن بەتكە سالىناتىن بەدەردٸ كودتايتىن قۇرىلعىعا قول جەتكٸزسەك دەيمٸز. بۇل ٶنٸمنٸڭ نۇسقاۋلىعىندا جاسىرىن بەدەردٸڭ قاي جەردە ورنالاسقانىن شيفرلار ارقىلى كٶرسەتۋگە مٷمكٸندٸك بەرەدٸ. ٶيتكەنٸ نانوماسشتابتاعى بەلگٸنٸ قاراۋ ٶتە ۇزاق پروتسەسس. ەگەر ٶنٸمنٸڭ سيپاتتاماسىندا شيفرى بولسا, سول ارقىلى ارناۋلى ماماندار تاۋاردىڭ قۇپييا بەلگٸسٸن تاۋىپ, ونىڭ تٷپنۇسقا ەكەنٸنە كٶز جەتكٸزە الادى. قولدانۋ سالاسى اۋقىمدى, قاراپايىم تەلەفوننان باستاپ, قۇندى قاعازدارعا دەيٸن گولوگرامما تٷرٸندە بەلگٸلەر قويۋعا بولادى. بولاشاقتا جاپسىرما تٷرٸندە شىعارۋدى ويلاستىرىپ وتىرمىز. بٸراق ەزٸرگە بٸز جۇمىس ٸستەيتٸن ٷلگٸلەردٸڭ ٶلشەمٸنە شەكتەۋ بار.
جوبا بارىسىندا قازۇۋ عالىمدارى رەسەي عىلىم اكادەميياسىنا قاراستى ميكروەلەكترونيكا جەنە ارنايى ماتەريالدار تەحنولوگيياسىنىڭ پروبلەمالارى ينستيتۋتىنىڭ عالىمدارىمەن بٸرٸگٸپ جۇمىس ٸستەگەن. بٸرٸككەن زەرتتەۋ جۇمىستارىن جٷرگٸزۋ ماقساتىندا ۋنيۆەرسيتەتٸمٸزدەگٸ دوكتورانتۋرا ستۋدەنتتەرٸ وسى ينستيتۋتتا عىلىمي تاعىلىمدامادان ٶتتٸ. ودان بٶلەك, سول ينستيتۋتتىڭ پروفەسسورلارى بٸزگە كەلٸپ دەرٸستەر جٷرگٸزدٸ. اشىق تٷردەگٸ ۇلتتىق نانوتەحنولوگييالىق زەرتحانا ماماندارى وسى سالاداعى رەسەيلٸك تەجٸريبەلٸ ماماندارمەن كەڭەسٸپ, تەجٸريبە الماسىپ وتىرادى.
بۇل جوباعا جاس عالىمداردىڭ دا قىزىعۋشىلىعى جوق ەمەس. ەكٸ دوكتورانت, ٷش ماگيسترانت ستۋدەنت وسى جوبادا جۇمىس ٸستەيدٸ.
– باستاپقى كەزەڭدە ٶز ەركٸمٸزبەن وسى باعىتتاعى زەرتتەۋ جۇمىستارىن باستادىق. كەيٸننەن 2018 جىلى گرانتتىق قارجىلاندىرۋعا بايقاۋ جارييالانعان كەزدە باق سىناپ كٶرۋگە شەشٸم قابىلدادىق. جوبا قارجىلاندىرۋعا قول جەتكٸزگەندە زەرتتەۋ جۇمىستارىن بٸرشاما دەڭگەيگە كٶتەرٸپ, جاقسى نەتيجەلەرگە قول جەتكٸزدٸك. جوبانى گرانتتىق قارجىلاندىرۋدىڭ ٶز تالاپتارى بولادى. مىسالى, بايقاۋعا قاتىسپاس بۇرىن, بٸرنەشە زەرتتەۋ جٷرگٸزٸلگەن بولۋى قاجەت. اسىل مەتالدار مەن قۇندى قاعازدارعا ارنالعان گولوگرامما جاساۋ جوباسىنىڭ كەلەسٸ دەڭگەيٸ – كوممەرتسييالاندىرۋ. ارى قاراي وسى باعىتتاعى كونكۋرستارعا قاتىسساق دەگەن جوسپارىمىز بار. ودان كەيٸنگٸ كەزەڭ – ٶنٸمدٸ نارىققا شىعارۋ, – دەيدٸ مۇحيت مۇراتوۆ.
ونىڭ ايتۋىنشا, ٶنەرتابىسقا «نانوبەدەرلەردٸ تاسىمالداۋ تەحنولوگيياسى» دەگەن اتاۋمەن مەملەكەتتٸك پاتەنت الىنعان. ونى قاراستىرۋدىڭ ٶزٸنە 1,5 جىلعا جۋىق ۋاقىت قاجەت بولىپتى. قازٸرگٸ تاڭدا جوباعا وتاندىق ينۆەستورلار دا قىزىعۋشىلىق تانىتىپ وتىر. ولاردىڭ نەگٸزگٸ تالابى – ٶنٸمنٸڭ ٶندٸرٸستٸك جەلٸسٸ 100 پايىز دايىن بولۋى قاجەت. سوندىقتان ەزٸرگە قولدا بار تەحنولوگييانىڭ كٶمەگٸمەن زەرتتەۋلەر جٷرگٸزٸلۋدە.
بٸراق كوممەرتسييالاندىرۋدىڭ دا ەرتٷرلٸ جولدارىن قاراستىرعان ابزال. مىسالى, وسى باعىتتا قىزمەت كٶرسەتۋ ارقىلى نەمەسە وسى تەحنولوگييانىڭ قىر-سىرىن ٶزگەلەرگە ٷيرەتۋ ارقىلى نارىققا شىعارۋعا بولادى. بٸرٸنشٸسٸ – سەرۆيستٸك, ەكٸنشٸسٸ – ينتەللەكتۋالدىق ٶنٸم رەتٸندە ٶز تۇتىنۋشىسىن تابادى دەگەن سەنٸم بار. وسى باعىتتا قىزىعۋشىلىق تانىتقان وقۋ ورىندارى بولسا ٶزارا ىنتىماقتاستىق ارقىلى قازۇۋ ماماندارى تەجٸريبە الماسۋعا ەزٸر.
ەل-فارابي اتىنداعى قازۇۋ-دىڭ باسپاسٶز قىزمەتٸ
